真空燒結爐是在抽真空后充氫氣保護狀態(tài)下，利用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導到工件上。真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規(guī)燒結。下面給大家詳細介紹一下真空燒結爐的特點、操作技巧以及出現(xiàn)故障的原因和應急處理辦法。

一、特點

a.真空燒結爐的真空腔室采用全不銹鋼雙層水冷設計，表面啞光處理，外形美觀。裝卸料方式采用爐蓋頂部開門，爐體頂部和底部分別留有上下壓頭接口，密封采用威爾遜密封，密封性好。爐體側部開有感應電源電極安裝孔，觀察窗孔等，爐體后部留有真空獲得接口，紅外觀測孔等。上下壓頭采用威爾遜密封，密封性好。

b.真空燒結爐的感應加熱系統(tǒng)由中頻感應電源，爐內(nèi)感應線圈，保溫護套及石墨襯套測溫紅外等組成。感應電源采用IGBT中頻感應電源，感應電源肌膚效應好，穿透力強，從而保證工件能快速被加熱，電源并具有欠壓過流過壓等故障報警，保證設備正常運行。

c.真空燒結爐的壓力裝置由成型壓力架，大推力壓力油缸，和精密液壓站組成。壓力的實現(xiàn)有一臺精密液壓站配合程序儀表及壓力傳感器組成閉環(huán)控制系統(tǒng)來實現(xiàn)精密壓力控制，位移測量由測距光柵尺來實現(xiàn)，測量精度高達0.02mm，從而實現(xiàn)壓力位移精密控制。

d.真空燒結爐的真空系統(tǒng)由一臺直聯(lián)泵和擴散泵配三臺真空閥氣動門等組成兩級泵系統(tǒng)，真空度高達5.0*10-3帕并安裝有壓力表、充放氣閥等裝置。真空的測量有一臺真空計來實現(xiàn)，可實時顯示爐罐內(nèi)的真空度。

e.真空燒結爐的電氣控制系統(tǒng)采用觸摸屏 PLC的控制模式。設備所有的動作由一臺歐姆龍PLC來實現(xiàn)和控制，并配有高分辨率的觸摸屏，所有的操作在觸摸屏上完成，并可實現(xiàn)溫度數(shù)據(jù)，壓力數(shù)據(jù)，位移數(shù)據(jù)的實時記錄、保存，也可在觸摸屏上實時數(shù)據(jù)顯示曲線顯示，數(shù)據(jù)可下載可保存。電氣元件采用施耐德，西門子品牌，整體設備具有加熱快、保溫好、控制精密、節(jié)能好、使用可靠等優(yōu)點。

二、操作技巧

a.檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

b.控制柜安裝在相應的地基上，并固定。

c.安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。

d.檢查電器可動部分應活動自如，無卡死現(xiàn)象。

e.絕緣電阻應不低于2兆歐姆。

f.真空電爐各閥門在關閉位置。

g.控制電源開關放在關位。

h.手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。

i.報警鈕放在開位。

三、故障和應急處理辦法

a.抽氣過濾器堵塞：清洗或更換排氣過濾器。

b.有漏氣處：抽空后關閉真空燒結爐電源，檢查電磁閥、管接頭、真空泵吸氣閥及工作室周邊密封墊有無漏氣處。

c.噪音大：真空爐聯(lián)軸器磨損或破裂，更換。

d.排氣過濾器堵塞或安裝位置不正：清洗或更換排氣過濾器并安裝正確。

e.處理爐噴油：吸氣閥O型圈脫落，拔下泵嘴上的真空管，卸下抽氣嘴，取出壓簧和吸氣閥，輕輕拉伸O型圈幾次，重新將其嵌入凹槽內(nèi)，再安裝即可。

f.真空燒結爐的真空泵漏油：回油閥堵塞，卸下回油閥，清洗。

g.油窗松動：放油后，卸下油窗，纏上生料帶或薄塑料薄膜。

h.油煙大：抽氣過濾器堵塞或污染，清洗或更換排氣過濾器。

i.不加熱：加熱條燒斷，更換加熱條。

j.加熱線燒斷：更換加熱線，并安裝牢固。控制加熱溫度波段開關接觸不良：或更換?？刂萍訜岬慕涣鹘佑|器不復位：(用氣流吹去異物)或更換。

k.加熱不停止：加熱時間繼電器接觸不良或燒壞，調(diào)整時間繼電器與插座接觸或更換。

l.封口不平、不緊或不封口：鋼盒變形，調(diào)整鋼盒加熱時間與加熱溫度未調(diào)好，調(diào)整至合適。

m.電機反轉時間過長：任意兩相電源線調(diào)換安裝(地線除外)。